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CCZK-SF磁控溅射镀膜设置装备摆设

特性形貌:

    九游会官方论坛CCZK-SF磁控溅射镀膜机,具有成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可完成大面积镀膜

    绝对于传统蒸发镀膜设置装备摆设,九游会官方论坛磁控溅射镀膜可取得更为良好的膜层致密性,匀称性和联合力

    接纳最为先辈的直流或中频磁控溅射电源,满意差别条理客户需求

    先辈的高速高温溅射技能,极大的扩展了九游会官方论坛CCZK-SF磁控设置装备摆设的使用范畴,对无法受热或耐热力产品提供优质的溅射镀膜办理方案

    接纳九游会官方论坛创新工艺制造,字斟句酌[zì zhēn jù zhuó],片面经过欧盟CE和ISO国际质量办理系统认证;

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技能设置装备摆设

CCZK-SF磁控溅射镀膜设置装备摆设

    腔体布局:  立式前开门,卧式前开门。

    材质用料:腔体材质为SUS304不锈钢或碳钢

    真空体系:  分散泵(可选分子泵)+罗茨泵+机器泵+维持泵(尚有深冷泵体系可供选择)

    溅射靶材:  中心圆柱靶,立体靶,孪生靶等

    磁控电源:  可装备直流或中频磁控溅射电源

    转动体系:  变频调速,公自转联合,可依据客户产品和要求设计

    膜层布局:  单层膜、多层膜

    气体控制:  气体流量控制仪集成触控操纵控制

    人机界面: PLC智能控制+全彩HMI触摸屏

    操纵方法: 逻辑全主动方法、半主动方法、手动方法

    智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,完成全主动控制

    报警及掩护:非常状况举行报警,并实行响应掩护步伐。

    其他技能参数:

    极限真空: 5.0×10-4Pa

    抽气速率: 5.0*10-2≤5min

    水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;

    备注:

    一样平常规格:

       Φ1000mm*H1200mm,Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm, 
       Φ1800mm*H2000mm, Φ2000mm*H2200mm

    真空室尺寸或设置装备摆设设置装备摆设可按客户产品及特别工艺要求订做

样品图

 

使用

  • 合适镀制初级装饰膜,合金膜层等。先辈的高速反响高温溅射技能,成绩了其高速的薄膜生长才能和良好的膜层匀称度致密性,普遍使用于塑料餐具,手机外壳、卫浴洁具、汽车轮毂,五细软品及标牌等镀膜。亦可溅射塑料成品、陶瓷、马赛克、树脂、水晶玻璃成品等