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CCZK-OGS光学电子枪镀膜设置装备摆设

特性形貌:

    九游会官方论坛真空光学(电子枪)镀膜机经过电子源(电子枪)发生的高能电子束并在磁场的作用下轰击坩埚中的镀膜质料,经过动能对热能的转换发生低温使得质料溶化并蒸发以取得良好附着力和光学功能的膜层。

    设计装载超大坩埚电子枪,整个蒸发历程中膜料外表平整,蒸发散布匀称

    悉心选用国际闻名品牌INFICON石英晶振膜厚监测体系,可完成成膜速率和镀膜历程的主动化控制

    创新设计多功效工件转动方法,可搭载多套穹顶式光学镀膜伞或行星式转架

    接纳九游会官方论坛创新工艺制造,字斟句酌[zì zhēn jù zhuó],片面经过欧盟CE和ISO国际质量办理系统认证;

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技能设置装备摆设

CCZK-OGS光学电子枪镀膜设置装备摆设

    腔体布局:  立式前开门,卧式前开门,后置真空取得体系

    材质用料:腔体均接纳优质不锈钢铸造

    制膜品种:光学多层膜,光学增透膜、减反射膜(AR)、单点增透、停止滤光片、七彩装饰功效膜等

    转动体系: 变频调速,装备光学镀膜伞和行星式工件转架

    电子束蒸发器: 装备大功率E型电子枪

    帮助镀膜: 可装备霍尔离子源或 高压离子轰击电源以进步附着力、膜层密度、波动折射率

    加热体系:铠装加热管加热方法,350℃温控PID控制。

    真空体系:分散泵(可选分子泵)+罗茨泵+机器泵+维持泵+深冷体系(可选)

    气体控制: 接纳多路气体流量控制仪

    膜层监测: 设置装备摆设接纳美国INFICON产石英晶振膜厚仪,可完成膜层参数的贮存与主动挪用

    智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,完成逻辑全主动控制

    报警及掩护:非常状况举行报警,并实行响应掩护步伐。

    其他技能参数:

    极限真空: 5.0×10-4Pa

    抽气速率: 5.0*10-2≤5min

    水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;

    备注:

    一样平常规格: Φ1350*H1350,Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm,

    真空室尺寸或设置装备摆设设置装备摆设可按客户产品及特别工艺要求订做

样品图

 

 

使用

  • 九游会官方论坛CCZK-OGS光学镀膜机可使用于如种种玻璃镜片,玻璃片,光学树脂镜片、望远镜、眼镜片、光学镜头、寒光杯、舞台灯光、电子产品、手机视窗、玻璃手机面板壳等产品的镀膜,九游会官方论坛光学镀膜设置装备摆设可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、黑色反射膜等多种膜系,可以完成0-99层膜的膜系镀膜。

    更多使用请征询九游会官方论坛工程师