真空腔室：卧式

材质用料： 腔体均接纳优质不锈钢

真空体系：分散泵（分子泵）+罗茨泵+机器泵+维持泵+深冷水汽捕集泵

卷绕体系：接纳6至10组辊子， 收卷辊、放卷辊、水冷辊各由一台电念头驱动；

镀膜体系：依据产品可选择蒸发镀膜体系或磁控溅射镀膜体系。送丝机构含有坩埚、电极、水冷、送丝机、电源等。

溅射靶材：磁控溅射可配1-4只立体铝靶或圆柱铝靶材；

电源体系：装备大功率蒸发电源以及磁控溅射电源

智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，完成全主动控制

报警及掩护:非常状况举行报警，并实行响应掩护步伐。

其他技能参数：

极限真空： 5.0×10-4Pa

抽气速率： 5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

备注:

一样平常规格：Φ1000*H1200，Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm，

真空室尺寸或设置装备摆设设置装备摆设可按客户产品及特别工艺要求订做